電容式傳感器具有結構簡單、耐高溫、耐輻射、分辨率高、動態響應特性好等優點，廣泛用于壓力、位移、加速度、厚度、振動、液位等測量中。但在使用中要注意以下幾個方面對測量結果的影響：
①減小環境溫度、濕度變化(可能引起某些介質的介電常數或極板的幾何尺寸、相對位置發生變化)；
②減小邊緣效應；
③減少寄生電容；
④使用屏蔽電極并接地(對敏感電極的電場起保護作用，與外電場隔離)；
⑤注意漏電阻、激勵頻率和極板支架材料的絕緣性。
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